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VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀是新研制開發(fā)的鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。
VTC-300USS超聲旋轉(zhuǎn)噴涂儀是12英寸的真空旋轉(zhuǎn)涂層機和超聲噴頭的結(jié)合體。噴頭可以連接空氣壓縮機,采用氣壓噴射,以此與超聲霧化相結(jié)合,使基片上薄膜更加均勻。
VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
VTC-5RF五靶頭等離子射頻磁控濺射儀是一款5靶頭的等離子射頻磁控濺射儀,針對于高通量MGI(材料基因組計劃)薄膜的研究。特別適合用于探索固態(tài)電解質(zhì)材料,通過5種元素,按16種不同配比組合。
VTC-2DC2英寸500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng),系統(tǒng)中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。
STC-ZINCAIR可拆卸式空氣電池測量裝置設(shè)備主體部分采用316不銹鋼制作具有良好的抗腐蝕性,內(nèi)部的壓緊彈簧將電芯壓緊固定;專門針對于鋰空氣電池和鋅空氣電池的研究和探索。
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